氣體質(zhì)量流量計(jì)行業(yè)發(fā)展情況

　　氣體質(zhì)量流量計(jì)是基于熱擴(kuò)散原理而設(shè)計(jì)的流量?jī)x表。即利用流體流過發(fā)熱物體時(shí)，發(fā)熱物體的熱量散失多少與流體的流量呈一定的比例關(guān)系。該系列流量計(jì)的傳感器有兩只標(biāo)準(zhǔn)級(jí)的RTD，一只用來做熱源，一只用來測(cè)量流體溫度，當(dāng)流體流動(dòng)時(shí)，兩者之間的溫度差與流量的大小成線性關(guān)系，再通過微電子控制技術(shù)，將這種關(guān)系轉(zhuǎn)換為測(cè)量流量信號(hào)的線性輸出。

　　*、氣體質(zhì)量流量計(jì)行業(yè)發(fā)展

　　1.熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)以及應(yīng)用行業(yè)

　　本類儀表適用于測(cè)量小流量微小口徑的清潔氣體，應(yīng)用于精細(xì)制造工藝和微小流量采樣控制等。 半導(dǎo)體工業(yè)應(yīng)用半導(dǎo)體工業(yè)曾是熱式質(zhì)量流量計(jì)主要服務(wù)對(duì)象，熱式質(zhì)量流量計(jì)是應(yīng)承半導(dǎo)體業(yè)需求的推動(dòng)而得到蓬勃發(fā)展，應(yīng)用于擴(kuò)散、氧化、外延、等離子刻蝕、濺射等工藝設(shè)備中，測(cè)量和控制超凈氣體或腐蝕/有害氣體流量，如氫、氨、氟化氫、三氟化氮、氧化氮、砷化三氫、磷化氫。

　　2.熱消散效應(yīng)侵入式熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)，該類儀表應(yīng)用于較大管徑，除測(cè)量潔凈氣體外還可測(cè)量存在一些塵粒的粗放氣體，如煙道氣等。

　　a.取暖通風(fēng)空調(diào)業(yè) 在國外暖通業(yè)也是熱式氣體流量計(jì)的主要服務(wù)對(duì)象，包括有無流通的監(jiān)控和通風(fēng)量的測(cè)量控制。

　　b.公用事業(yè)給水和污水治理應(yīng)用于給水工業(yè)的原水水處理殺菌凈化過程中氯氣、臭氧和氨氣等流量測(cè)量和控制;污水治理;曝氣凈化過程中空氣和處理過程中產(chǎn)生氣體的測(cè)量控制。

　　c.能源工業(yè)應(yīng)用于測(cè)量天然氣、鍋爐通風(fēng)鼓風(fēng)空氣、儲(chǔ)罐管線排氣等。在煤粉/空氣配比過程中，測(cè)量和控制空氣流量。

　　d.氣體連續(xù)排放監(jiān)控環(huán)境保護(hù)要求控制鍋爐燃燒煙道氣中S02和NO的排放總量，由流量?jī)x表和分析儀器等組成CEM系統(tǒng)進(jìn)行測(cè)量。

　　第三、氣體質(zhì)量流量計(jì)市場(chǎng)潛力大

　　氣體質(zhì)量流量計(jì)應(yīng)用于氣體的測(cè)量是呈現(xiàn)較快增長的重要因素。在技術(shù)上認(rèn)可氣體質(zhì)量流量計(jì)儀表適用于氣體的生產(chǎn)、測(cè)量、輸送、倉儲(chǔ)、分配和zui終用戶消費(fèi)的測(cè)量，開創(chuàng)出一個(gè)新的市場(chǎng)空間。從壓縮天然氣壓縮站到零售路邊加氣的發(fā)送系統(tǒng)每一個(gè)測(cè)量點(diǎn)，用直接測(cè)量質(zhì)量流量的在測(cè)量技術(shù)上的優(yōu)點(diǎn)超過其他流量?jī)x表，從而使這一領(lǐng)域的用量驟增。